Tegal收购阿尔卡特朗讯微加工生产线

Tegal表示，接管的产品线和知识产权是为MEMS器件提供实施先进的三维立体晶片杠杆包装应用。

根据协议条款，EMS传感器和集成设备制造商将继续使用AMMS支持的基于DRIE工具的装置，另一方面，Tegal将继续发展该AMMS DRIE生产线，并负责AMMS与客户的联合发展研究机构和学术机构的计划。